Atmosferde nötron'lar ile nitrojen-14'ün çarpışması sonucu Karbon-14 atomları ve Hidrojen atomu oluşur. Formül aşağıdaki gibi verilebilir : 

N-14 + nötron ->  C-14 + H

Fotosentez ile bu Karbon atomları önce bitkilere onlardanda diğer canlılara geçer. Bir canlı öldükten sonra Karbon-14 alımı durur. Vücuddaki Karbon-14,  beta bozunması sonucu N-14'e dönüşür :

C-14 -> N-14 + e-

Karbon-14 yöntemi Willard Fransk Libby tarafından bulunmuş ve bu çalışmasından dolayı Nobel ödülü almıştır. 

Karbon-14 yöntemi için kullanılan teknikler aşağıdaki gibidir :

• Sıvı Sintilasyon Sayımı (Kalıt önce benzene dönüştürülür ve Sıvı Sintilasyon yöntemi ile radyoaktif aktivite değerleri ölçülür)
• Hızlandırıcı Kütle Spektrometresi (Kütle spektrometresi yöntemi ile çok küçük miktardaki maddeden , elementteki izotop oranı belirlenir)
• Radyason Spektormetresi (Yayılan Beta parçacıkları ölçülür)

Canlı vücudunda havadaki ve canlı vücüdundaki C-14'ün C-12'e orana sabittir ve 1/10¹² değerindedir (Bir tane C-14 atomuna karşılık 7.2x10¹¹ C-12 atomu) . Bir canlı öldükten sonra vücudundaki C14 beta ışınımı nedeniyle (yarılanma ömrü 5730 yıldır) giderek azalır. Bu ışıma miktarı kullanılarak canlı kalıtının yaşı öğrenilmektedir.  

Yaşayan bir canlıda 1 gr karbon için dakikada 16 bozunma gerçekleşir. Örneğin eğer bir canlı kalıtında dakikada 8 bozunma gerçekleşiyor ise o canlı 5736 yıl önce ölmüş olduğu anlaşılır. 

Karbon-14 yaş tayini için aşağıdaki formül kullanılmaktadır : 

t=[ln (N_f / N₀) / (-0.693) ] x t _1/2

ln doğal algoritma , N_f / N₀ canlı kalıtındaki karbon-14 miktarının canlı dokulardaki C-14 karbon miktarına oranı , t_1/2 ise Karbon-14'ün yarı ömrüdür. 

Canlı bir örneğin %10'u kadar bir Karbon-14 içeren bir canlı kalıtı için yaşı aşağıdaki gibidir :

t = ln [0.10 / -0.693 ] * 5736
t = 18.940 

Canlı 18.940 yaşındadır.